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日本小坂KOSAKA 臺階儀|微細形狀測定機ET4000系列

日本小坂KOSAKA 臺階儀 | 微細形狀測定機ET4000系列概述

臺階儀可以應(yīng)用在半導體,光伏/太陽能,光電子,化合物半導體,OLED,生物醫(yī)藥,PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度,臺階儀測量薄膜厚度,臺階高度,粗糙度(Ra,Rq,Rmax…),劃痕深度,磨損深度,薄膜應(yīng)力(曲定量率半徑法)等定量測量方面。其高精度,高重復性,自動探索樣品表面

日本小坂KOSAKA 臺階儀 | 微細形狀測定機ET4000系列特點

★ 高精度.安定性.機能性卓YUE適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細形狀、段差、粗度測定的機型。
★ 是多機能的全自動微細形狀測定機,針對用途及樣品尺寸有多種機型可供選擇。
★ ET4000A/ ET4000AK一可實現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。
★ ET4000M一高性能的泛用微細形狀測定機。
★ ET4000L一對應(yīng)大型工件的全自動微細形狀測定機。
★ ET4300一適合12″樣品測量。

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